XEN-393量熱計(jì)傳感器

產(chǎn)品名稱：XEN-393量熱計(jì)傳感器
產(chǎn)品型號(hào)：XEN-39391-XEN-39392-XEN-39395-XEN-39397-XEN-39398
產(chǎn)品廠商：Xensor Integration
產(chǎn)品文檔： Xensor Integration公司XEN-393和XEN-394量熱計(jì)芯片

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簡(jiǎn)單介紹

荷蘭Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量熱計(jì)傳感器芯片，設(shè)計(jì)用于高溫掃描率下的小樣本測(cè)量。XEN-393系列采用鋁電極互連，這限制了它們的溫度范圍低于XEN-394系列，后者采用金電極互連。該量熱計(jì)傳感器采用單面超薄氮化硅薄膜，具有對(duì)環(huán)境熱阻高、時(shí)間常數(shù)小等特點(diǎn)。這使得這些傳感器特別適用于氣體介質(zhì)環(huán)境中的測(cè)量和快速測(cè)量，如快速掃描量熱法。

XEN-393量熱計(jì)傳感器

的詳細(xì)介紹

荷蘭Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器

-快速掃描量熱計(jì)傳感器芯片

荷蘭Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器特征

加熱和冷卻速率高達(dá)1 MK/s
樣品溫度范圍寬，從-273°C到+500°C

荷蘭Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器特征工作原理

量熱計(jì)芯片由一個(gè)薄膜組成，它懸浮在一個(gè)厚的硅基框架中。集成加熱器加熱膜的中部區(qū)域分布：傳感器芯片的樣品區(qū)，熱電堆測(cè)量樣品區(qū)的溫度。通過(guò)這種方式，被測(cè)樣品可經(jīng)受預(yù)定溫度分布，以便觀察樣品隨溫度變化的行為。

Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器技術(shù)參數(shù)比較

XEN-39390：這是一個(gè)較小尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，樣品面積約為30x30μm，具有兩個(gè)4線加熱器（偏置和保護(hù)加熱器）內(nèi)的6對(duì)熱電堆。
XEN-39391和XEN-39395：這是一種中等尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，熱點(diǎn)面積約為60x60μm和60x70μm，具有兩個(gè)4線加熱器內(nèi)的6對(duì)熱電堆。
XEN-39392和XEN-39399 ：這些是較大尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片，樣品面積約為100x100μm，具有兩個(gè)4線加熱器內(nèi)的6對(duì)熱電堆。XEN-39399具有多晶硅覆蓋的樣品區(qū)域，以改善溫度均勻性。
XEN-39397和XEN-39398 ：這些是Max尺寸的樣品面積量熱計(jì)芯片。XEN-39398具有雙4線加熱器，樣品面積約為250x250μm，在兩個(gè)4線加熱器內(nèi)具有6對(duì)熱電堆。樣品區(qū)域被多晶硅覆蓋以改善溫度均勻性。XEN-39397有一個(gè)單4線加熱器和一個(gè)20對(duì)熱電堆，樣品面積為1000x1000μm，鋁覆蓋以改善溫度均勻性。

Xensor Integration公司XEN-393量熱計(jì)傳感器芯片典型技術(shù)參數(shù)

環(huán)境溫度22℃，空氣，1013 mbar

XEN-39395 XEN-39390 XEN-39391 XEN-39392 XEN-39399 XEN-39398

一般參數(shù)
輸出（V/W） 75 55 46 40 23 23
時(shí)間常數(shù)（ms） 0.7 0.9 1.6 2 3.4 17

噪聲等效功率（μW） 2 2 2 2 2 2

加熱速率（MK/s） 1.5 1 0.5 0.5 0.5 0.1

膜+氣體（kK/W）              38                 28                      29               20                      11                3.3
附錄（nJ/K）                 17                  31                      54            100                     300              5100
尺寸
芯片尺寸（mm2） 3.3x2.5        3.3x2.5              3.3x2.5           3.3x2.5        3.3x2.5      5.0x3.3
膜尺寸（mm2）              0.9x0.9          0.9x0.9 0.9x0.9    0.9x0.9            0.9x0.9           2.4x2.0
膜厚（μm） 1                     1                          1                  1                     1 1
樣品面積（μm xμm）    60x70    86x86 116x116         156x156           296x246              1020x974