Xensor Integration是一家高科技公司，專注于使用計(jì)算機(jī)芯片技術(shù)制造MEMS傳感器（微機(jī)電系統(tǒng)）的定制設(shè)計(jì)、原型設(shè)計(jì)和生產(chǎn)。Xensor擁有一系列現(xiàn)成的標(biāo)準(zhǔn)MEMS熱導(dǎo)率氣體敏感元件和氣體傳感器。經(jīng)典的XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)率氣體敏感元件和XEN-5320是一種智能氣體傳感器，在需要分析二元?dú)怏w混合物的工業(yè)中有著廣泛的應(yīng)用。XEN-5320使用經(jīng)驗(yàn)證的熱導(dǎo)率傳感器敏感元件XEN-3880，該氣體傳感器基于環(huán)境氣體的熱導(dǎo)率測量。XEN-3880、XEN-3920和XEN-5320應(yīng)用包括皮拉尼真空計(jì)、氣體擴(kuò)散率的檢測以及氫氣等二元?dú)怏w成分的含量測量。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件測量流經(jīng)其表面周圍氣體的熱導(dǎo)率。根據(jù)氣體熱導(dǎo)率不同的原理，它可用于測量二元混合物或準(zhǔn)二元混合物中的氣體濃度，其中組分氣體具有不同的熱導(dǎo)率。它也可以用于測量真空系統(tǒng)中的壓力。熱導(dǎo)率敏感元件芯片由具有氮化硅膜（SiN）的硅框架組成，其中心是一個(gè)加熱器，由一個(gè)熱電堆傳感器陣列測量其溫度，敏感芯片測量環(huán)境氣體和膜中心之間的熱導(dǎo)率。薄膜頂部的硅蓋（Roof）和帶過濾器金屬篩網(wǎng)的焊接蓋（W）抑制了氣流流量敏感性。

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件特征
?二元和準(zhǔn)二元混合物中氣體的長期穩(wěn)定分析
?高靈敏度和分辨率
?工作溫度：-250°C至150°C
?濕度：0至95%RH，無冷凝
?使用Pt100（P2）或Pt1000（P3）元件進(jìn)行溫度測量
?流量靈敏度可忽略不計(jì)
?環(huán)境溫度22°C和1 V電源

Xensor Integration公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件區(qū)別：

1、XEN-3880-P2RW和XEN-3880-3RW熱導(dǎo)敏感元件：

1.1、XEN-3880敏感元件，帶硅蓋（Roof），單膜，PT100或PT1000溫度元件，帶5um金層的10針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽
1.2、XEN-3880-RW：XEN-3880傳感器元件，帶硅蓋（Roof），單膜，帶+/-0.8 um金層的6針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽
2、XEN-3920-P2RW和XEN-3920-P3RW熱導(dǎo)率敏感元件：
2.1、XEN-3920感應(yīng)元件，帶硅蓋（Roof），雙膜，PT100或PT1000溫度元件，帶5um金層的10針TO-5插針，帶金屬篩網(wǎng)的金屬管帽

Xensor公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)氣體敏感元件典型應(yīng)用
?氫氣、氦氣和天然氣含量測量
?用氦氣測試氫氣系統(tǒng)
?包裝和真空系統(tǒng)中的真空測量
?氣體濃度測量
Xensor公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)率氣體敏感元件工作原理
Xensor公司XEN-3880和XEN-3920熱導(dǎo)率氣體敏感元件通過使用加熱器電阻器加熱膜的中心來實(shí)現(xiàn)對薄膜中心的熱電堆的熱接點(diǎn)和芯片框架上的冷接點(diǎn)之間的熱阻進(jìn)行測量。由此產(chǎn)生的中心的溫度升高通過熱電堆溫度傳感器陣列來測量。熱導(dǎo)率氣體敏感元件實(shí)際溫度升高取決于膜中心和環(huán)境氣體之間的有效熱阻，這些受到環(huán)境氣體熱阻的影響。