TCS208F和TCS208F3熱導氣體傳感器

產(chǎn)品名稱：TCS208F和TCS208F3熱導氣體傳感器
產(chǎn)品型號：TCS208F和TCS208F3-德國HLP
產(chǎn)品廠商：德國HLP-MEAS-TE
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簡單介紹

德國HLP公司TCS208F/TCS208F3氣體熱導傳感器，采用先進的MEMS微機械加工技術(shù)生產(chǎn)，利用被測組份和參考氣體的熱導系數(shù)不同和變化而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護簡單等優(yōu)點?？蓮V泛應(yīng)用于天然氣，甲烷CH4、氫氣H2，二氧化碳CO2，一氧化碳CO，六氟化硫SF6，氨氣NH3和氦氣He等氣體成份檢測，也可用于測量非常小的氣體含量(濃度)變化。

TCS208F和TCS208F3熱導氣體傳感器

的詳細介紹

泰科電子TE/德國HLP公司TCS208F和TCS208F3熱導氣體傳感器

TE泰科電子/德國HL Planar公司TCS208F/TCS208F3氣體熱導傳感器，采用先進的MEMS微機械加工技術(shù)生產(chǎn)，利用被測組份和參考氣體的熱導系數(shù)不同和變化而響應(yīng)的濃度型傳感器。產(chǎn)品具有檢測范圍大、可靠性高、安裝方便、維護簡單等優(yōu)點。可廣泛應(yīng)用于天然氣，甲烷CH4、氫氣H2，二氧化碳CO2，一氧化碳CO，六氟化硫SF6，氨氣NH3和氦氣He等氣體成份檢測，也可用于測量非常小的氣體含量(濃度)變化。

TE泰科電子/德國HL Planar公司TCS208F和TCS208F3熱導率氣體傳感器元件由一個硅片組成，該硅片具有一層約1mm2的薄膜，該薄膜的材料具有非常好的電絕緣和熱絕緣性能。薄膜上有兩個薄膜電阻器,它們既用于加熱膜又用于測量膜溫度Tm。電阻器經(jīng)過鈍化處理，以保護它們免受氣體的影響。薄膜被二個小硅片完全覆蓋，硅片上蝕刻有一個矩形空腔。在薄膜上方形成的中空空間是導熱部分。氣體僅通過擴散而非流動通過膜蓋上的一個小橫向開口進入測量部分。傳感器芯片及其蓋子連接到硅支撐件上，硅支撐件也允許氣體交換到膜的下側(cè)。傳感器通過金線接合電連接到八引腳底座。由于膜周圍氣體的熱導率l，熱能從保持在較高溫度Tm的膜中耗散。測量的是溫度穩(wěn)定電路中保持膜的過量溫度DT恒定所需的信號。

泰科電子TE/德國HLP公司TCS208F/TCS208F3氣體熱導傳感器特點

導熱系數(shù)氣體傳感器
硅微機械學
非常小的尺寸
短時間常數(shù)
極小氣體體積的測量
擴散氣體交換
測量氫含量熱導率
通過評估分析二元氣體
二氧化碳與甲烷的測定
天然氣判別
氦氣或氙含量的測量

德國HLP公司TCS208F/TCS208F3熱導氣體傳感器應(yīng)用

工業(yè)應(yīng)用，氣體分析儀，例如氫氣分析儀和氦氣分析儀
氣體特性監(jiān)測
測定氣體濃度，例如氫氣傳感器、氦氣傳感器
填埋或消化氣體分析
- 不同來源氣體或成分氣體

泰科電子TE/德國HLP公司TCS208F/TCS208F3熱導氣體傳感器工作原理

泰科電子TE公司TCS208F傳感器上的四個電阻器Rm1、Rm2、Rt1和Rt2分別為分別連接到TO8型底座上的八個引腳。在TCS208F3上，Rm1和Rm2以及Rt1和Rt2串聯(lián)連接。圖1顯示了從傳感器側(cè)看的引腳分配。為了操作傳感器，建議向兩個膜電阻器Rm1和Rm2施加大致相等的加熱功率，以避免加熱表面上的溫度梯度。用于通過重新測量環(huán)境溫度的功率，電阻器Rt1和Rt2不應(yīng)超過電阻器Rm1和Rm2中耗散的功率，以避免加熱傳感器芯片。

泰科電子TE公司/德國HLP公司TCS208F/TCS208F3熱導氣體傳感器性能參數(shù)(參考溫度25℃)

參數(shù)	Mim.值	典型值	Max.值	單位
阻值Rm1，Rm2	92	100	115	Ω
阻值 Rt1，Rt2	220	240	275	Ω
比值Rtx / (Rm1+Rm2) \| x ε {1,2}	1.13	1.2	1.27
阻值差 Rm1 - Rm2	-2.00		+2.00	Ω
溫度系數(shù)(Rm, Rt) \|20°C–100°C	4800	5500	5900	ppm/K
膜熱時間常數(shù)(τm)		＜5		ms
氣體交換時間常數(shù)		＜100		ms
漂移\| x ε {m,t} ; y ε {1,2}		0.001	0.01	%week
擴散室空間		0.2		mm3
安裝空間		100		mm3

■ 額定參數(shù)

參數(shù)	Mim.值	典型值	Max.值	單位
加熱功率P(Rm1 + Rm2)			30	mW
膜片溫度Tm			180	℃
環(huán)境溫度?	-20		+85	℃

■ *佳工作參數(shù)

參數(shù)	Mim.值	典型值	Max.值	單位
加熱功率P (Rm1 + Rm2)			5	mW
膜片溫度變化 ΔT = Tm -?	30	50	70	℃
測量介質(zhì)	與Si，SiOxNy，Gold，Epoxy兼容氣體

泰科電子TE公司TCS208F和TCS208F3熱導率氣體傳感器訂購信息
“TCS208F”熱導率氣體傳感器或“TCS208F3熱導氣體傳感器”，適用于可選的3只針腳版本。

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