MEMS快速響應(yīng)氫氣傳感器

產(chǎn)品名稱：MEMS快速響應(yīng)氫氣傳感器
產(chǎn)品型號：TCD-H2
產(chǎn)品廠商：Delta Tech
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簡單介紹

MEMS快速響應(yīng)氫氣傳感器特點(diǎn)： 1、無需加熱恒溫 2、功耗低，約100mW 3、快速響應(yīng)，約1秒 4、濕度補(bǔ)償 5、外形尺寸小

MEMS快速響應(yīng)氫氣傳感器

的詳細(xì)介紹

MEMS快速響應(yīng)氫氣傳感器

MEMS熱導(dǎo)式傳感器工作原理：熱導(dǎo)率傳感器通過測量氣體或液體的導(dǎo)熱能力來工作。當(dāng)向材料施加熱量時，其散熱速率受到其導(dǎo)熱性的影響。在典型的熱導(dǎo)率傳感器中，兩個溫度傳感器（通常是熱電偶或電阻溫度傳感器）以已知距離放置。加熱器產(chǎn)生已知量的熱量，并測量兩個傳感器之間的溫差。然后，可以根據(jù)熱流和溫差計算導(dǎo)熱系數(shù)。熱導(dǎo)率氣體傳感器敏感芯片測量膜中心熱電堆熱結(jié)和芯片厚邊緣冷結(jié)之間的熱阻。這是通過使用電阻器加熱器Rheat加熱膜的中心來實現(xiàn)的。由此產(chǎn)生的中心溫度升高由熱電堆溫度傳感器測量。實際溫度升高取決于膜中心和環(huán)境之間的有效熱阻，這受到膜熱阻、環(huán)境氣體熱阻、任何存在的氣體流量和（通常可以忽略不計）發(fā)射輻射等因素的影響。

MEMS熱導(dǎo)率傳感器測量溫度有幾種類型，包括：

電阻溫度傳感器：這些傳感器利用材料的電阻變化來確定溫度。
熱電堆傳溫度感器：這些傳感器由多個串聯(lián)的熱電偶組成，提供更高的輸出電壓和靈敏度。

TCD-5880-P2RW氣體傳感器敏感元件為了測量時準(zhǔn)確補(bǔ)償環(huán)境溫度變化，可以在熱導(dǎo)率傳感器芯片旁邊安放一個2x2 mm的PT100鉑電阻溫度傳感器。這允許根據(jù)溫度DIN B等級準(zhǔn)確測量傳感器芯片的溫度。標(biāo)準(zhǔn)為100歐姆電阻器（0oC時為100歐姆，靈敏度為0.39%/oC），可選為0oC下為100歐姆的Pt100。所謂的"Roof硅蓋"是粘在薄膜熱點(diǎn)上的硅散熱器，在距離薄膜100μm處形成散熱器（見圖4.5）?！肮枭w”有兩個應(yīng)用。首先，熱導(dǎo)率傳感器周圍的任何氣流都被硅蓋阻擋，無法到達(dá)熱膜，因此傳感器的對流量靈敏度大大降低。因此，在有流量的情況下進(jìn)行測量時，硅蓋選項很有趣。其次，附近的散熱器將傳感器可以測量的上部真空壓力增加了大約3倍。因此，當(dāng)將熱導(dǎo)率傳感器用作真空計傳感器時，硅蓋選項也可能引起人們的興趣。