荷蘭Xensor Integration公司XEN-393和XEN-394量熱計(jì)芯片
-快速掃描量熱計(jì)傳感器
荷蘭Xensor Integration公司提供XEN-393是一系列微加工薄膜量熱計(jì)傳感器芯片，設(shè)計(jì)用于高溫掃描率下的小樣本測(cè)量。XEN-393系列采用鋁線電極互連，這限制了它們的溫度范圍低于XEN-394系列，后者采用金線電極互連。 該量熱計(jì)傳感器采用單面超薄氮化硅薄膜，具有對(duì)環(huán)境熱阻高、時(shí)間常數(shù)小等特點(diǎn)。這使得這些傳感器特別適用于氣體介質(zhì)環(huán)境中的測(cè)量和快速測(cè)量，如快速掃描量熱法。
XEN-39390 單膜，2x 4線加熱器，熱點(diǎn)面積30x30μm ，TO-5封裝
XEN-39391 單膜，2x 4線加熱器，熱點(diǎn)面積60x60μm ，TO-5封裝
XEN-39392 單膜，2x 4線加熱器，熱點(diǎn)面積100x100μm ，TO-5封裝
XEN-39395 單膜，4線加熱器，熱點(diǎn)面積60x70μm ，TO-5封裝
XEN-39397 單膜，4線加熱器，熱點(diǎn)面積1000x1000μm ，TO-5封裝
XEN-39398 單膜，2x 4線加熱器，熱點(diǎn)面積250x250μm ，TO-5封裝
XEN-39399 單膜，2x 4線加熱器，多熱點(diǎn)面積100x100μm ，TO-5封裝
XEN-39471b 雙膜，4線加熱器，熱點(diǎn)面積8x10μm ，TO-5封裝
XEN-39472b 雙膜，4線加熱器，熱點(diǎn)面積6x6μm ，TO-5封裝
XEN-39473b 雙膜，4線加熱器，熱點(diǎn)面積6x6μm，金溝槽，TO-5封裝
XEN-39478 符合XEN-39392，雙膜 ，TO-5封裝